ウィークリー8月19日号

EUV関連装置は拡大基調が継続へ

　半導体マスク欠陥検査装置が主力でEUV向けでは市場を独占しています。前6月期の連結営業利益は前の期比31％増の814億円と過去最高益を更新しました。最先端のEUV（極端紫外線）リソグラフィを用いた半導体製造能力の増強等を受け、EUVパターンマスク欠陥検査装置（ACTISシリーズ）の販売が前の期比2.4倍の982億円と伸長しました。

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